Metal Destekli Kimyasal aşındırma (MACE), desenli metal filmden yüksek en-boy oranlı yarı iletken nanoyapılar üretebilen, yakın zamanda geliştirilmiş bir anizotropik ıslak aşındırma yöntemidir.
MACE sürecini tanımlayan iyi kabul edilen bir modelde,oksidanyüzeyinde küçültülmesi tercih edilir.metal katalizör, ve delikler (h+) metal katalizörden Si'ye enjekte edilir veya elektronlar (e−) Si'den metal katalizöre aktarılır. Metal katalizörün altındaki Si maksimumdelik konsantrasyonu, bu yüzdenoksidasyonve Si'nin çözünmesi tercihen metal katalizörün altında meydana gelir.
SiNW'ler ile güneş enerjisi dönüşüm verimliliğinin arttığı bulunmuştur.yüksek en boy oranıslar ışık ışınlamasının yüzeyinde kullanılır.
1 Yüzey durumu
Parametre | süreç | yansıtma |
Ön taraf | ||
Yüzey durumu | Metal Yardımlı Kimyasal Dağlama | Düşük |
Arka Taraf | ||
Yüzey durumu | cilalı veya dokulu | Yüksek veya alçak |
2 Malzeme özellikleri
Emlak | Şartname | Muayene Yöntemi |
Büyüme yöntemi | yönlü katılaşma | XRD |
kristallik | polikristal | Tercihli Etch Teknikleri（ASTM F47-88） |
İletkenlik türü | P tipi | Napson EC-80TPN P/N |
dopant | Bor | - |
Oksijen konsantrasyonu[Oi] | ≦1E+17 at/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Karbon konsantrasyonu[Cs] | ≦1E+18 at/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Elektriksel özellikler
Emlak | Şartname | Muayene Yöntemi |
özdirenç | 0,5-2 Ωcm (tavlamadan sonra) | Gofret kontrol sistemi |
MCLT (azınlık taşıyıcı ömrü) | ≧2 μs | Sinton QSSPC |
4 Geometri
Emlak | Şartname | Muayene Yöntemi |
Geometri | Kare veya Dikdörtgen | Gofret kontrol sistemi |
Eğimli kenar şekli | Hat | Gofret kontrol sistemi |
gofret boyutu (Yan uzunluk*yan uzunluk) | 156mm*156mm 157mm*186mm 166mm*166mm | Gofret kontrol sistemi |
Bitişik taraflar arasındaki açı | 90±3° | Gofret kontrol sistemi |
Popüler Etiketler: 166mm * 166mm dahil olmak üzere siyah silikon yüzey p tipi polikristal güneş gofret, Çin, tedarikçiler, üreticiler, fabrika, Çin malı
